将半导体原材料转变成有用配件的过程中需要几百个化学处理工序。这些化学处理过程都会对弹性体密封件造成攻击,导致它们溶胀、降解或析出不受欢迎的金属或其他离子,这些离子会影响到集成电路的功能。随着更大的晶片尺寸、更小的功能单元、更薄的堆积层厚度的发展,将加工过程中的污染物降至最低或者消除已成为一项重要课题。制造商一直在尽最大努力来消除那些可能导致芯片报废的潜在污染物质。

Garlast® FFKM Perfluoroelastomers在半导体领域的应用是非常广范的,但也是最危险,因密封不良而造成的风险灾害也是最高的,所以正确的选择好的密封件与密封件制造商是很重要的。 

Garlast® FFKM Perfluoroelastomers密封材料有助于在芯片制造时减少污染,并提供优良的耐化学性,从而提高密封寿命并适合用于任何的晶圆的干湿制程。 

贵公司现在是时候将FKM升级到FFKM了,使用FFKM的好处:

     •  扩展机台使用周期
     •  减少制程缺陷
     •  优化制程条件
     •  降低灰尘污染
     •  增加产品产出
     •  降低生产成本
     •  减少机械保养人员
     •  降低橡胶填充剂释出
 
所有的半导体等级的Garlast® FFKM Perfluoroelastomers我们均在洁净室内生产。
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